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窄跡晶圓切割實(shí)例
發(fā)布時(shí)間:2022-09-13 點(diǎn)擊數(shù):2353

窄跡晶圓的特性

在晶圓切割環(huán)節(jié)中,經(jīng)常遇到的較窄跡道(street)晶圓,要求將每一次切割放在跡道中心幾微米范圍內(nèi)。雖然目前有激光切割、等離子切割等方式,理論上可以實(shí)現(xiàn)窄跡晶圓的切割,但是考慮到技術(shù)成熟度不高、適用產(chǎn)品范圍小、設(shè)備價(jià)格高等方面因素,應(yīng)用金剛石劃片刀仍是最優(yōu)的選擇。這就要求切割設(shè)備具備更高的精度和更先進(jìn)的對(duì)準(zhǔn)運(yùn)算,以及厚度盡可能薄、剛性更強(qiáng)的刀片。


當(dāng)切割窄跡道晶圓時(shí),常見的一種推薦是,選擇盡可能最薄的刀片。但是,很薄的刀片是非常脆弱的,更容易過(guò)早破裂和磨損,結(jié)果,其壽命期望和工藝穩(wěn)定性都比較厚的刀片差。這對(duì)刀片品質(zhì)以及合適的切割方案有較高的要求。


一般對(duì)于50~76μm跡道的晶圓推薦厚度為20~30μm的刀片,40~50μm跡道的晶圓推薦厚度為15~20μm的刀片。


案例實(shí)錄

?

測(cè)試目的

1、測(cè)試切痕寬度

2、測(cè)試切割品質(zhì)



?

材料情況

切割產(chǎn)品

mos晶圓

產(chǎn)品尺寸

8寸

產(chǎn)品厚度

200μm

膠膜類型

UV膜


?

工藝參數(shù)

切割工藝

單刀切透

設(shè)備型號(hào)

DAD322

主軸轉(zhuǎn)速

26K rpm

進(jìn)刀速度

30mm/s

刀片高度

CH1:0.055


?

樣刀準(zhǔn)備


SSTYE SD-4000-R-50-CBA


?

樣刀規(guī)格


刀片型號(hào)

4000-R-50 CBA

金剛石粒度

4000#

結(jié)合劑硬度

R(硬)

集中度

50

刀片厚度

0.018mm


?

測(cè)試結(jié)果

1、切痕寬度在21~22.3μm之間,切痕

穩(wěn)定,符合工藝要求。

2、正面無(wú)明顯崩邊。

        崩邊效果                                                刀痕效果


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