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案例分享-晶圓劃片刀
發(fā)布時(shí)間:2022-03-15 點(diǎn)擊數(shù):3196

晶圓的應(yīng)用領(lǐng)域

封裝之后的晶圓叫做集成電路。目前,集成電路在信息、通訊、消費(fèi)電子、汽車電子、智能駕駛、航天航空、醫(yī)療電子及其他消費(fèi)類領(lǐng)域占比不斷擴(kuò)大并保持增長,所有涉及到電路的電子產(chǎn)品都會(huì)使用到集成電路。

晶圓的材料特性

晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.999999999%。晶圓制造廠再把此多晶硅融解,再于融液里種入籽晶,然后將其慢慢拉出,以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,此過程稱為“長晶”。硅晶棒再經(jīng)過切段,滾磨,切片,倒角,拋光,蝕刻設(shè)計(jì),使其帶有獨(dú)立電氣性能,即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片,這就是“晶圓”。

切割時(shí)的注意事項(xiàng)

晶圓切割需要在晶圓切割機(jī)主軸上安裝一個(gè)帶有輪轂的金剛石刀片,沿著晶圓表面設(shè)計(jì)好的街區(qū)橫向和縱向切割,分離成單獨(dú)的小顆粒。


在晶圓切割過程中要特別注意以下幾點(diǎn),以避免產(chǎn)生品質(zhì)隱患。

  1. 接觸晶圓首先要做好靜電防護(hù)(10E6Ω至10E9Ω),避免損傷晶圓;

  2. 使用電阻阻值為13-18MΩ的去離子冷卻水或在純水中添加Diamaflow切削液,能有效避免產(chǎn)品氧化及硅粉殘留;

  3. 使用純水二氧化碳發(fā)泡機(jī)(0.6M±0.1)避免臟污和靜電損傷;

  4. 選擇適合的切割刀片及適合的工藝參數(shù),保證切割效果;

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